描述：六自由度調(diào)臺(tái)可實(shí)現(xiàn)多自由度運(yùn)動(dòng)，動(dòng)態(tài)范圍大，重載穩(wěn)定性強(qiáng)，任意指定轉(zhuǎn)動(dòng)中心，可滿足各種工業(yè)需求，適應(yīng)大氣和真空環(huán)境。廣泛應(yīng)用于顯微操縱、生物技術(shù)、半導(dǎo)體制造等。

廠商性質(zhì)
生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間
2026-04-21
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75

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詳細(xì)介紹

品牌	北京精科	產(chǎn)地類別	國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合

JKZC-TM-350六自由度調(diào)臺(tái)

六自由度調(diào)臺(tái)可實(shí)現(xiàn)多自由度運(yùn)動(dòng)，動(dòng)態(tài)范圍大，重載穩(wěn)定性強(qiáng)，任意指定轉(zhuǎn)動(dòng)中心，可滿足各種工業(yè)需求，適應(yīng)大氣和真空環(huán)境。廣泛應(yīng)用于顯微操縱、生物技術(shù)、半導(dǎo)體制造等。

JKZC-TM-350六自由度調(diào)臺(tái)

1、典型應(yīng)用

半導(dǎo)體封測

主動(dòng)光學(xué)

生物技術(shù)

視覺裝配

顯微操縱

光纖校準(zhǔn)

2、技術(shù)特點(diǎn)

亞納米級(jí)定位穩(wěn)定性

納米級(jí)閉環(huán)運(yùn)動(dòng)分辨力

無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向

大負(fù)載

空間多自由度

各級(jí)真空兼容性

3、2D尺寸圖

JKZC-TM-350六自由度調(diào)臺(tái)

4、規(guī)格參數(shù)

支持非標(biāo)定制	JKZC-TM-350	單位
運(yùn)動(dòng)軸	X,Y,Z,θX,θY,θZ
傳感器類型	絕對式圓光柵
驅(qū)動(dòng)類型	直流無刷電機(jī)
X/Y/Z閉環(huán)行程	±50/±50/±25	mm
θX/θY/θZ閉環(huán)行程	±12.5/±12.5/±25
X/Y/Z位移分辨率	0.5	μm
θX/θY/θZ位移分辨率	3.5	μrad
X/Y/Z重復(fù)定位精度@200kg負(fù)載	±1.5	μm
θX/θY/θZ重復(fù)定位精度@200kg負(fù)載	±2	μrad
水平方向承載能力	300	kg
任意方向承載能力	50	kg
材料	鋁合金
工作溫度	0-50	℃
尺寸	φ450x350	mm