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詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
高精度JKZC-TM
JKZC-TM系列 高精度六自由度并聯(lián)運動平臺可實現(xiàn)多自由度運動，動態(tài)范圍大，承載大，穩(wěn)定性強，任意指定轉(zhuǎn)動中心，可滿足各種工業(yè)需求，適應(yīng)大氣和真空環(huán)境。廣泛應(yīng)用于顯微操縱、生物技術(shù)、半導(dǎo)體制造等。
1、典型應(yīng)用
半導(dǎo)體封測
主動光學(xué)
生物技術(shù)
視覺裝配
顯微操縱
光纖校準(zhǔn)
2、技術(shù)特點
亞納米級定位穩(wěn)定性
納米級閉環(huán)運動分辨力
無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向
大負(fù)載
空間多自由度
各級真空兼容性
3、2D尺寸圖
4、規(guī)格參數(shù)
支持非標(biāo)定制 | JKZC-TM-250 | 單位 |
運動軸 | X,Y,Z,θx/θY/θz | |
傳感器類型 | 絕對式圓光柵 | |
驅(qū)動類型 | 無刷直流電機 | |
X/Y/Z閉環(huán)行程 | ±36/±36/±18 | mm |
θx/θY/θz閉環(huán)行程 | ±11/±11/±21 | ° |
X/Y/Z方向上的最小位移 | 0.5 | μm |
θX/θY/θZ方向上的最小位移 | 3.5 | arcsec |
X/Y/Z單向重復(fù)定位精度 | ±1.5 | μm |
θX/θY/θZ單向重復(fù)定位精度 | ±2 | arcsec |
X/Y/Z向的最大速度 | 5 | mm/s |
θX/θY/θZ向的最大速度 | 14.3 | deg/s |
水平方向承載能力 | 100 | kg |
任意方向承載能力 | 20 | kg |
材料 | 鋁合金/不銹鋼 | |
工作溫度 | 0-50 | ℃ |
尺寸 | φ350x250 | mm |
5、適配控制器
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